Publisher's Synopsis
As películas finas desempenham um papel importante no desenvolvimento e estudo de materiais com propriedades novas e únicas. As películas finas são muito úteis no mundo atual devido à sua vantagem de alterar as propriedades da superfície de um material a granel de acordo com as nossas necessidades. As películas finas podem ser depositadas em materiais a granel através de dois tipos de processos: a deposição física de vapor e a deposição química de vapor. O principal objetivo do presente trabalho é sintetizar um revestimento à base de nitreto de tântalo em substratos de vidro, silício, latão e aço macio, utilizando o processo de pulverização catódica por magnetrão RF. Estudámos o efeito do tempo de deposição e da variação do caudal de azoto nas propriedades estruturais e tribológicas do revestimento à base de nitreto de tântalo. O tempo de deposição do revestimento foi variado de 20 a 80 min. O caudal de azoto variou de 5 a 30 sccm. O difratómetro de raios X (XRD) e a microscopia de força atómica (AFM) foram utilizados para determinar a estrutura e a topografia da superfície do revestimento. Foi utilizado um tribómetro de pino sobre disco para determinar as propriedades tribológicas do revestimento.
